- Vakuumepitaxie
- vakuuminė epitaksija statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. vacuum epitaxy vok. Vakuumepitaxie, f rus. вакуумная эпитаксия, f pranc. épitaxie à vide, f
Fizikos terminų žodynas : lietuvių, anglų, prancūzų, vokiečių ir rusų kalbomis. – Vilnius : Mokslo ir enciklopedijų leidybos institutas. Vilius Palenskis, Vytautas Valiukėnas, Valerijonas Žalkauskas, Pranas Juozas Žilinskas. 2007.